钽酸锂(LiTaO3)抛光液

「上海新创纳电子科技有限公司」开发了钽酸锂抛光液系列产品，主要包括LT-01、LT-02、LT-1915、LT-1901、LT-1902等系列。目前广泛应用于国内各大钽酸锂晶体晶圆厂家，市场占有率7成以上，欢迎电话咨询：186-2157-4686（李博士）。

钽酸锂(LiTaO3，简称LT)晶体，是集压电、铁电、热释电、声光及电光等性能于一体的多功能晶体材料，在声表面波(SAW)器件、光通讯、激光及光电子等领域中有着广泛的应用，是制作滤波器和谐振器的关键材料。

酸性钽酸锂抛光液

优点：

1、抛光速率大于15μm /h。

2、抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.2nm以下。

3、酸性抛光液，抛光速率较快。

应用：钽酸锂等晶圆抛光。

碱性钽酸锂抛光液

优点：

1. 抛光速率大于10μm/h 。

2. 抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.15nm以下。

3. 碱性抛光液，抛光后的的表面质量较好。

主要指标：LTV<0.5, TTV<3, Ra<0.3。

应用：钽酸锂等晶圆的精抛。